国产晶圆半导体正在快速进入市场，Sorter/EFEM/Robot 类产品潜力巨大。

纳博特晶圆机器人解决方案，针对半导体行业需求做出特殊定制，具备高可靠性和稳定性，节拍效率可达进口水平，满足 SEMI 认证需求，是晶圆设备厂商的最佳合作伙伴。

晶圆半导体类型

按照不同产品类型，包括如下几个类别：

大气晶圆机器人(Atmospheric Robot)

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大气晶圆机器人

真空晶圆机器人(Vacuum Wafer Robot)

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真空晶圆机器人

EFEM（Front End Modules）半导体设备前置模块

EFEM（半导体设备前置模块）从属于半导体生产设备，其内部主要由化学蒸汽过滤器、空气过滤器、离子发生器、晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆载运盒、自动化控制模块等组成。

其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准装置（Aligner）是最核心的三大部件。

Sorter 晶圆倒片机

晶圆分选机（Wafer SORTER）是用于半导体制造行业的过程设备，通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求，实现 Wafer 的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。

Loadports 传送盒

AMHS 自动化物料搬运系统（Automated Material Handling Systems）

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AMHS自动化物料搬运系统1

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AMHS自动化物料搬运系统2

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AMHS自动化物料搬运系统3